LIGA
LIGA nghĩa là quy trình chế tạo vi cấu trúc có tỷ lệ chiều cao/chiều rộng rất cao, kết hợp kỹ thuật in khắc, mạ điện và đúc
Các nghĩa
-
quy trình chế tạo vi cấu trúc có tỷ lệ chiều cao/chiều rộng rất cao, kết hợp kỹ thuật in khắc, mạ điện và đúc
A manufacturing process involving lithography, electroplating, and molding, used microstructures with a very high aspect ratio.